Недостаток двойного микроскопа

Применение в этом случае явлений интерференции даёт наглядное изображение микротопографии поверхности, позволяющее вычислить масштаб и высоту неровностей в соответствии с законами интерференции. Микроинтерферометр позволяет оценивать только тонкообработанные оверхности. в настоящее время разработаны две головки микронтерферометра: первая — для поверхностей с максимальной высотой неровностей от 0 до 1 к (хонинг, притирка, супер-финиш), вторая — от 1 до 8 у (алмазное точение, шлифование).

Увеличение в первой головке от X 280 до X 60° в зависимости от увеличения окуляра, увеличение во второй головке от X 56 до X 120. В цеховых условиях практичнее пользоваться эталонами, аттестованными в лаборатории при помощи перечисленных выше приборов.

Однако визуальное сопоставление чистоты поверхности эталона и испытуемой детали вносит субъективность в оценку. Для получения объективной оценки чистоты обработки при сопоставлении эталона и испытуемой детали находят применение: а) микроскопы с двумя предметными столиками (на одном устанавливается эталон, на другом — испытуемая деталь); б) приборы пневматические, рефлектометрические, поляризационные и др.